低レベル放射性廃棄物のうち、放射能レベルの比較的低い廃棄物について天然バリアの覆土層が数ｍ程度の厚さを持つ浅地層（浅地中）に埋設処分する方法をいう。この方法には、廃液、フイルターなどのドラム缶に封入された廃棄物を人工構築物（コンクリートピット）を設けて埋設する浅地中ピット処分と、原子炉の廃止措置などから発生した放射能レベルの極めて低いコンクリートなどの廃棄物を人工構築物を設けないで素堀りトレンチに直接埋設する浅地中トレンチ処分がある。低レベル放射性廃棄物のうち放射能レベルの比較的高い制御棒、炉心構造物などの廃棄物は余裕深度処分対象となる。青森県の六ヶ所低レベル放射性廃棄物埋設センターでは1992年より原子力発電所からの低レベル放射性廃棄物を受け入れ浅地中ピット処分を実施している。