超高純度ゲルマニウムから作られた放射線検出器を、真性ゲルマニウムまたは高純度ゲルマニウム検出器と呼ぶ。ゲルマニウムは、シリコンに比べて融点が低いことから、不純物の濃度を１立方センチ（ｃｍ３）当たり１００億個程度に低減できる製法が確立している。この高純度のゲルマニウムの結晶に平板状または同軸状に対向したＰ型及びＮ型の半導体層を設け、それぞれに電極を取り付けたものが検出器となる。通常５０００ボルト程度の電圧を電極に供給し、液体窒素の温度（−１９６度）に冷却することにより、ガンマ線のエネルギースペクトルを超高分解能で測定できる。