物質に励起光を照射すると物質から蛍光または燐光が放出される性質を利用して、その光の波長（または波数）及び強さから定量あるいは定性分析を行う方法をいう。励起光としては、光（可視、紫外）のほかにＸ線が用いられることもある。Ｘ線で励起した場合に放射されるのは、蛍光Ｘ線であり、これによる分析法は蛍光Ｘ線分析と呼ばれる。