スパッタリング

スパッタリング すぱったりんぐ

 spattering。スパッタ本来の意味の一つである「はねを飛ばす」から派生して、主に二つの意味で用いられる。まず、核融合炉の第一壁等、真空中に在り、しきい値を超える高エネルギーの荷電粒子、中性粒子あるいは中性子にさらされる材料表面で、表面の原子が物理的に、または化学反応を伴って真空中に放出され、材料表面が徐々に減損する現象を言う。また、軽水炉の冷却材喪失事故等で潜在的可能性が予想される現象で、高温の伝熱面に冷却材が降りかかるとき、急速に加熱された一部の冷却材が瞬時に蒸発することで、他の大部分の冷却材が伝熱面に付着せず次々と飛散する現象を言う。この際高温の伝熱面は、蒸発伝熱等によって徐々に冷却されていく。


<登録年月>
1998年01月




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