1980年代から、半導体のエッチングガス、CVDクリーニング用などに使用されている化学物質で、人工的温室効果ガスの一つである。ハイドロフルオロカーボン類HFCsほどの使用量には達していないが、クロロフルオロカーボン類CFCsの規制とともに、最近、使用量が急増している。100年間の地球温暖化係数は、二酸化炭素の6500〜9200倍であり、京都議定書で削減対象の温室効果ガスの一つとされた。同議定書では、PFC類はHFC類と同様、2008年から2012年の間に1995年水準まで減らすことが義務付けられている。日本におけるPFC類の排出量は温室効果ガス全体の0.9％である（2000年度）。PFC類には、パーフルオロメタン（PFC−14）、パーフルオロエタン（PFC−116）、パーフルオロプロパン（PFC−218）等々、多数の種類がある。