物質にＸ線やガンマ線を照射すると物質を構成する原子の内殻（Ｋ殻、Ｌ殻など）電子が励起され、内殻に空孔が生じる。ここに外殻電子が遷移するとき放出されるＸ線のことを蛍光Ｘ線いう。蛍光Ｘ線は元素に固有であるので、放出された蛍光Ｘ線のスペクトルと強度から元素の種類と濃度の定量が可能になる。これを蛍光Ｘ線分析法という。