低レベル放射性廃棄物のうち、放射性物質濃度の比較的高い廃棄物については、放射性廃棄物に接触する可能性が十分低く余裕を持った深度（地表面下50ｍ〜100ｍ程度）への埋設が考えられている。これを余裕深度処分という。この埋設深度については、海外の類似施設を対象に埋設深度に係る法規制や深度設定根拠等について調査整理するとともに、国内の地下利用状況について調査し、通常人の利用に供さない深さについて検討が進められている。また、安全評価手法の検討、処分施設に係る技術基準の検討等も行われている。対象となる廃棄物には原子炉施設にあっては制御棒、炉内構造物、放射化コンクリートなど、再処理施設にあっては放射化金属、プロセス廃棄物など、MOX燃料加工施設にあってはプロセス廃棄物などがある。図に余裕深度処分の概念を示す。