汚染源効率は、表面汚染の放射能に対する表面放射線放出の割合である。汚染源効率をξｓとすると次式で表される。ξｓ＝（Ｎ−Ｎｂ）／Ａｓ・ξｉ・ｗここで、Ａｓ：表面汚染密度、Ｎ：測定された計数率（ｓ^−１）、Ｎｂ：バックグラウンド計数率（ｓ^−１）、ξｉ：β（α）線に対する測定器効率、ｗ：測定器の有効窓面積（ｃｍ^２）汚染源効率は、汚染表面の材質、状態等によるβ（α）線の散乱や吸収の程度を示す。