材料が中性子やγ線などエネルギーを持った放射線の照射を受けたときに生じる損傷をいう。放射線損傷とも呼ばれる。照射損傷は弾き出し損傷と核変換損傷に大別される。弾き出し損傷は結晶格子点に位置する原子が放射線によってはじき出される結果生ずる損傷である。この際生じた空の格子点と格子間にはじき出された原子の対が照射損傷によって生ずる格子欠陥の基本単位となる（フレンケル対）。核変換損傷は、中性子との衝突によって核変換を起し、他の種類の原子になり物質中に不純物原子として存在することにより生ずる。たとえば（n，α）反応や（n，ｐ）反応によって物質中にヘリウムや水素が生じて、それが集まって気泡を生成する場合などがある。また、合金成分が核変換によって変化して、物理的・機械的性質が変化する場合もある。