Ｘ線の中でも比較的波長の長いＸ線を軟Ｘ線といい、真空紫外線と同じように物質に吸収されやすい。波長は0.1から10nmである。真空紫外線と軟Ｘ線との境界ははっきり定義されておらず、波長１nmから10nmのものについては両方の呼び方がある。レーザーを集光照射してレーザープラズマ中に発生する反転分布を用いると軟Ｘ線 レーザーが得られる。これまでに実現されたプラズマＸ線レーザーの最短波長は、３nmであり軟Ｘ線域の広い範囲にわたっている。Ｘ線レーザーをＸ線レーザー干渉計測に用いる応用研究等が開始されている。太陽物理学では軟X線は数百万度の太陽コロナ全般から放射される。