lithograph.　リソ（ト）グラフィは、古くは石版上に脂性インキやクレヨンで字や絵を書いて、それを用いて得られる石版画のことであった。現代では、写真平板によって作られた金属平板をオフセット印刷して得られる印刷物をいう。またリソグラフィは、集積回路の製造に用いる手法をいう。シリコン板をレジストという光や電子に感じる膜で一様に覆い、特定のパターン用原版を通して、所定の表面部分を露光源（光、Ｘ線または電子ビーム）で照射する。照射後、通常の現像処理などで処理する。例えば、電子リソグラフィは、感光レジストを走査型電子顕微鏡の真空室中に置き、コンピュータ制御の電子ビームでパターンを焼き付ける。