各元素に固有な波長の線スペクトルを示すＸ線をいう。内部転換電子が放出されたあと、空孔のできた軌道に外側の軌道から電子が落ち込み、軌道電子のエネルギー準位の差に相当するエネルギーが特性Ｘ線として放出される。Ｋ殻の空孔がＬ殻またはＭ殻の電子によって満たされた場合、それぞれＫα−Ｘ線、Ｋβ−Ｘ線、Ｌ殻の空孔が満たされた場合、Ｌα−Ｘ線と呼ばれる。